반응형 증착 공정1 프리커서·리간드 소재란? 반도체 필수 소재 완전 정리 (엘케이켐 489500) 반도체 제조 공정에서 프리커서(Precursor)와 리간드(Ligand)는 원자층 증착(ALD, Atomic Layer Deposition) 및 화학기상증착(CVD, Chemical Vapor Deposition) 공정에서 필수적인 화학 물질이다. 이들 물질은 초미세 반도체 공정에서 균일한 박막을 형성하는 데 중요한 역할을 한다.🔹 프리커서(Precursor)란?프리커서는 반도체 웨이퍼 위에 얇은 박막을 형성하는 데 사용되는 고순도 유기금속 화합물이다. 📌 주요 역할✅ 반도체 공정에서 원자층 단위로 얇은 막을 형성✅ 고순도 및 균일한 코팅을 위해 사용✅ 증착 과정에서 특정 금속 원소(예: 하프늄, 탄탈륨 등)를 전달 📌 사용되는 주요 프리커서 예시하프늄(Hf) 기반 프리커서 → High-k 유전체 .. 2025. 2. 25. 이전 1 다음 반응형
